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    MEMS传感器和智能传感器的发展  1.MEMS传感器的发展状况   美国OakRidge国家实验室的PanosDatskos与NickolayLavrik使用MEMS传感器检测出5.5fs的物质,创造了一项新的世界纪录。其使用的只有2tun长、50am厚的硅悬臂,由一种廉价的二极管激光器振动。